柔性应变传感器及其制作方法
授权
摘要
本发明公开了一种柔性应变传感器，包括：衬底；以及金属薄膜层，所述金属薄膜层形成在衬底上；其中，所述衬底的厚度为10μm‑25μm。根据本发明公开的应变传感器，金属薄膜层可以快速灵敏地对外界应变进行响应，而且采用厚度为10μm‑25μm的衬底具有更优异的机械顺从性，从而对于应变刺激具有更高的灵敏度，能够快速灵敏地对应变刺激进行响应。
基本信息
专利标题 ：
柔性应变传感器及其制作方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN111174685A
申请号 ：
CN201811330471.3
公开（公告）日 ：
2020-05-19
申请日 ：
2018-11-09
授权号 ：
CN111174685B
授权日 ：
2022-06-07
发明人 ：
潘曹峰鲍容容李静
申请人 ：
北京纳米能源与系统研究所
申请人地址 ：
北京市海淀区学院路30号天工大厦C座
代理机构 ：
中科专利商标代理有限责任公司
代理人 ：
任岩
优先权 ：
CN201811330471.3
主分类号 ：
G01B7/16
IPC分类号 ：
G01B7/16
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B7/00
以采用电或磁的方法为特征的计量设备
G01B7/16
用于计量固体的变形，例如电阻应变仪
法律状态
2022-06-07 ：
授权
2020-12-22 ：
著录事项变更
IPC(主分类) : G01B 7/16
变更事项 : 申请人
变更前 : 北京纳米能源与系统研究所
变更后 : 北京纳米能源与系统研究所
变更事项 : 地址
变更前 : 100083 北京市海淀区学院路30号天工大厦C座
变更后 : 101400 北京市怀柔区雁栖经济开发区杨雁东一路8号
变更事项 : 申请人
变更前 : 北京纳米能源与系统研究所
变更后 : 北京纳米能源与系统研究所
变更事项 : 地址
变更前 : 100083 北京市海淀区学院路30号天工大厦C座
变更后 : 101400 北京市怀柔区雁栖经济开发区杨雁东一路8号
2020-06-19 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01B 7/16
申请日 : 20181109
申请日 : 20181109
2020-05-19 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
1、
CN111174685A.PDF
PDF下载
