一种机台制程参数的异常监测装置、方法及计算机可读存储介质，所述方法包括：基于预先提取的多笔产品资料集筛选得到影响预设产品在每一量测点量测值的目标机台制程参数；基于目标机台制程参数与多个预设产品在每一量测点的量测值构建与每一量测点对应的量测值预测模型，并计算得到每一模型的拟合度；将每一量测点对应的量测值预测模型的拟合度、预测值、目标机台制程参数及参数系数汇整至问题指标集；基于问题指标集中的元素计算得到每一机台制程参数的影响程度指标值；输出超过第一预设影响程度指标值的机台制程参数的警示信息。本发明利用多点量测数与制程数据构建问题指标集并进行分析，以早日发现有异常的机台制程参数，减少机台停机时间。