超微型麦克风
授权
摘要
本公开涉及超微型麦克风。一种MEMS换能器，该MEMS换能器包括换能器基板、对电极以及振膜。对电极联接至换能器基板。振膜大致平行于对电极定向，并且与对电极间隔开以形成间隙。MEMS换能器的后腔容积是位于对电极与振膜之间的封闭容积。在MEMS换能器的音频频带的上限处，对电极与振膜之间的间隙的高度小于后腔容积内的热边界层厚度的两倍。
基本信息
专利标题 ：
超微型麦克风
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN112689228A
申请号 ：
CN202011103002.5
公开（公告）日 ：
2021-04-20
申请日 ：
2020-10-15
授权号 ：
CN112689228B
授权日 ：
2022-04-19
发明人 ：
V·纳德瑞恩M·佩德森彼得·洛佩特
申请人 ：
美商楼氏电子有限公司
申请人地址 ：
美国伊利诺伊州
代理机构 ：
北京三友知识产权代理有限公司
代理人 ：
王青芝
优先权 ：
CN202011103002.5
主分类号 ：
H04R19/04
IPC分类号 ：
H04R19/04 H04R19/00
法律状态
2022-04-19 ：
授权
2021-05-07 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H04R 19/04
申请日 : 20201015
申请日 : 20201015
2021-04-20 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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