本发明涉及一种含氧化合物制备低碳烯烃的方法，包括如下步骤：将含氧化合物与水的混合物依次通过催化剂Ⅰ、Ⅱ和Ⅲ发生催化裂解反应，然后将反应产物进行气液分离，得到低碳烯烃；其中，催化剂Ⅰ、Ⅱ和Ⅲ为不相同的催化剂，所述催化剂Ⅰ、Ⅱ和Ⅲ分别独立地装填在第一、二、三反应区中，且所述第二反应区的温度不低于第一反应区的温度，所述第三反应区的温度不低于第二反应区的温度。本发明的含氧化合物制备低碳烯烃的方法，根据不同含氧化合物具有不同的最佳催化裂解温度和条件，对催化剂和反应系统进行设计，使其可以适用于组成复杂的原料，提高了原料转化率和低碳烯烃选择性，延长了催化剂的使用寿命。