一种探测基板、平板探测器
实质审查的生效
摘要
本发明提供了一种探测基板及其制作方法、平板探测器，涉及光电检测技术领域，能避免金属氧化物薄膜晶体管被还原，提高金属氧化物薄膜晶体管的稳定性。探测基板包括阵列排布的多个探测像素单元；探测像素单元包括：设置在衬底之上的薄膜晶体管、牺牲层和光电转换部；牺牲层位于薄膜晶体管和光电转换部之间；其中，薄膜晶体管包括有源层、第一电极和第二电极；有源层在衬底上的至少部分正投影位于牺牲层在衬底上的正投影以内；光电转换部分别与牺牲层、第一电极电连接；探测基板中，各探测像素单元的牺牲层相互独立。本发明适用于探测基板的制作。
基本信息
专利标题 ：
一种探测基板、平板探测器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114388538A
申请号 ：
CN202011142827.8
公开（公告）日 ：
2022-04-22
申请日 ：
2020-10-22
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
尚建兴占香蜜姜振武夏会楠侯学成
申请人 ：
北京京东方传感技术有限公司;京东方科技集团股份有限公司
申请人地址 ：
北京市大兴区北京经济技术开发区西环中路8号2幢C区3层C-301、C-302
代理机构 ：
北京润泽恒知识产权代理有限公司
代理人 ：
李娜
优先权 ：
CN202011142827.8
主分类号 ：
H01L27/146
IPC分类号 ：
H01L27/146 G01T1/24
法律状态
2022-05-10 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 27/146
申请日 : 20201022
申请日 : 20201022
2022-04-22 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
