冷却板、冷却模块及工艺系统
实质审查的生效
摘要
一种工艺系统，配置来对工件进行工艺，包含工站，包括入口端及出口端，经配置以自该入口端接收所述工件，并由该出口端将所述工件移出该工站；回流设备，包括设置在该工站外的回流轨道，所述回流轨道经配置以使所述工件自所述出口端移动到所述入口端移动；及冷却模块，设于所述回流轨道且与外界环境流体连通。所述冷却模块包括：冷却板，具有经配置以接触所述工件的冷却面；及液态界面生成模块，设于所述冷却板，且经配置以在所述冷却面及所述工件之间生成液态界面。
基本信息
专利标题 ：
冷却板、冷却模块及工艺系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114411108A
申请号 ：
CN202011169939.2
公开（公告）日 ：
2022-04-29
申请日 ：
2020-10-28
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
黄一原刘镒诚卢木森
申请人 ：
凌嘉科技股份有限公司
申请人地址 ：
中国台湾台中市西屯区林厝里科园一路16号
代理机构 ：
深圳市赛恩倍吉知识产权代理有限公司
代理人 ：
唐芳芳
优先权 ：
CN202011169939.2
主分类号 ：
C23C14/54
IPC分类号 ：
C23C14/54 C23C14/50 C23C14/56 C23C14/34
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/54
镀覆工艺的控制或调节
法律状态
2022-05-20 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : C23C 14/54
申请日 : 20201028
申请日 : 20201028
2022-04-29 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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