测漏装置
实质审查的生效
摘要
本发明实施例提供一种测漏装置,包括:测试平台,测试平台用于承载放置待测漏的研磨头,且研磨头可以分为一个或者多个独立的分区,每一分区对应具有一个腔室,每一腔室对应具有通气孔;上盖,用于密封腔室,且上盖位于腔室远离测试平台的一侧;可动装置,可动装置在平行于测试平台的表面上可移动,且在垂直于测试平台的方向上可移动,还适于向上盖施加压力,以使上盖密封腔室。本发明实施例通过可动装置对上盖施加压力,有利于对上盖施加均匀的压力和降低操作人员的时间成本,有利于提高测漏装置测漏结果的准确性。
基本信息
专利标题 :
测漏装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114427941A
申请号 :
CN202011181217.9
公开(公告)日 :
2022-05-03
申请日 :
2020-10-29
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
何家平古进忠
申请人 :
长鑫存储技术有限公司
申请人地址 :
安徽省合肥市经济技术开发区空港工业园兴业大道388号
代理机构 :
上海晨皓知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
成丽杰
优先权 :
CN202011181217.9
主分类号 :
G01M3/26
IPC分类号 :
G01M3/26
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01M
机器或结构部件的静或动平衡的测试;其他类目中不包括的结构部件或设备的测试
G01M3/00
结构部件的流体密封性的测试
G01M3/02
应用流体或真空
G01M3/26
通过测量流体的增减速率,例如,用压力响应装置,用流量计
法律状态
2022-05-20 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01M 3/26
申请日 : 20201029
申请日 : 20201029
2022-05-03 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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