本申请实施例关于一种先进先出运输设备及其使用方法，用于两个或两个以上基板，此先进先出运输设备包括夹取堆合装置、机械手臂及取料装置，夹取堆合装置将每一基板移送至每一夹具上，又带动每一夹具夹固于每一基板而构成基板夹具组件，再令两个或两个以上基板夹具组件沿着预定方向由1至N依序层叠排列在第一移动承架上；机械手臂将两个或两个以上基板夹具组件移送至取料装置；取料装置将两个或两个以上基板夹具组件沿着预定方向由1至N依序移送至第二移动承架，取基板机构对应第二移动承架设置，取基板机构带动每一夹具释放于每一基板，再将每一基板由每一夹具移送至基板集料台。