运输设备
授权
摘要
本实用新型提供了一种运输设备。运输设备用于将晶圆输送至预设位置处，运输设备包括：承载结构，用于承载晶圆；电磁组件，位于至少部分承载结构的外围，电磁组件用于通电后向承载结构施加电磁力，以使承载结构处于悬浮状态；驱动组件，与承载结构连接；驱动组件用于在承载结构处于悬浮状态时驱动承载结构运动至预设位置处。本实用新型有效地解决了现有技术中下平台的运行不稳定而影响上、下晶圆的对准精度的问题。
基本信息
专利标题 ：
运输设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020232596.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-02-26
授权号 ：
CN212062456U
授权日 ：
2020-12-01
发明人 ：
孟文钱
申请人 ：
长江存储科技有限责任公司
申请人地址 ：
湖北省武汉市洪山区东湖开发区关东科技工业园华光大道18号7018室
代理机构 ：
北京康信知识产权代理有限责任公司
代理人 ：
韩建伟
优先权 ：
CN202020232596.9
主分类号 ：
H01L31/18
IPC分类号 ：
H01L31/18 H01L21/677 H01L21/687
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法律状态
2020-12-01 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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