一种电导率温度传感器系统
实质审查的生效
摘要
本公开提供了一种电导率温度传感器系统，包括：衬底，包括N+2个通孔，每个通孔中设有导线，导线的第一端连接在衬底的底面，其中，N+2个通孔包括N个第一通孔与两个第二通孔，N为正偶数；电导率传感器，包括N个电极，分别对应地置于N个第一通孔之上，并分别与第一通孔中导线的第二端连接，其中，N个电极包括一个圆形电极及N‑1个环形电极，N个电极之间形成有隔离沟；温度传感器，其位于隔离沟中，温度传感器的两个电极分别置于两个第二通孔之上，并分别与第二通孔中导线的第二端连接。
基本信息
专利标题 ：
一种电导率温度传感器系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114440960A
申请号 ：
CN202011213343.8
公开（公告）日 ：
2022-05-06
申请日 ：
2020-11-03
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
柴鑫成尚海平王玮冰
申请人 ：
中国科学院微电子研究所
申请人地址 ：
北京市朝阳区北土城西路3号
代理机构 ：
中科专利商标代理有限责任公司
代理人 ：
周天宇
优先权 ：
CN202011213343.8
主分类号 ：
G01D21/02
IPC分类号 ：
G01D21/02
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01D
非专用于特定变量的测量；不包含在其他单独小类中的测量两个或多个变量的装置；计费设备；非专用于特定变量的传输或转换装置；未列入其他类目的测量或测试
G01D21/00
未列入其他类目的测量或测试
G01D21/02
用不包括在其他单个小类中的装置来测量两个或更多个变量
法律状态
2022-05-24 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01D 21/02
申请日 : 20201103
申请日 : 20201103
2022-05-06 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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