本发明属于晶圆制造技术领域，特别是涉及一种晶圆保护膜旋转切除装置。该晶圆保护膜旋转切除装置包括主体箱、载物台、旋转组件、切除组件以及移动机构；移动机构包括用于带动切除组件沿竖直方向移动的竖向移动组件，以及用于带动切除组件沿水平方向移动的横向移动组件；旋转组件包括安装在主体箱和移动机构之间的第一旋转件或/和安装在主体箱和载物台之间的第二旋转件；切除组件包括切割头；旋转组件用于带动载物台和切除组件相对旋转，以使得切割头将放置在载物台上的晶圆上的保护膜切除。本发明中，该晶圆保护膜旋转切除装置可用于切割晶圆周围多余的保护膜，从而提高了晶圆的生产效率和质量。