具有安全装置的化学品喷液设备
实质审查的生效
摘要
本发明提供一种具有安全装置的化学品喷液设备，化学品喷液设备包括：处理器模块、模拟I/O模块、电信号转气信号模块、流量控制阀门、喷嘴、流量计、常闭阀门及数字I/O模块；常闭阀门连接于药液供应源与喷嘴之间的管路上，并通过数字I/O模块连接处理器模块，常闭阀门未接受到开启信号时，处于常闭状态，当处理器模块给模拟I/O模块发出喷液模拟信号的同时，给数字I/O模块发出开启信号，使常闭阀门开启而实现药液流通。本发明的喷液系统中装设有常闭阀门，使得设备中即使此常闭阀门和流量控制阀门有一个出现内漏，药液也不会从喷嘴喷出，从而大大降低工艺隐患及安全隐患，大大提高了设备的安全性。
基本信息
专利标题 ：
具有安全装置的化学品喷液设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114446819A
申请号 ：
CN202011225642.3
公开（公告）日 ：
2022-05-06
申请日 ：
2020-11-05
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
钟吉琛
申请人 ：
上海新微技术研发中心有限公司
申请人地址 ：
上海市嘉定区城北路235号1号楼
代理机构 ：
上海光华专利事务所(普通合伙)
代理人 ：
罗泳文
优先权 ：
CN202011225642.3
主分类号 ：
H01L21/67
IPC分类号 ：
H01L21/67
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
法律状态
2022-05-24 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 21/67
申请日 : 20201105
申请日 : 20201105
2022-05-06 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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