一种水气同轴辅助振镜扫描的激光加工装置
授权
摘要
本发明公开了一种水气同轴辅助振镜扫描激光加工装置。该装置通过多个水路和气路同轴的掠入射喷射口，将少量水高速喷射到待加工材料表面。通过调节气压和水流量、增加喷射口数量、或使喷射口左右摆动，在待加工材料表面形成大面积的薄层水膜。激光经由场镜聚焦在水膜覆盖的待加工材料表面上，通过振镜高速扫描进行烧蚀加工。该方法能够有效消除或抑制激光烧蚀中热效应产生的不利影响，减少碎屑堆积，提高激光烧蚀加工的质量和效率。
基本信息
专利标题 ：
一种水气同轴辅助振镜扫描的激光加工装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN112475613A
申请号 ：
CN202011229792.1
公开（公告）日 ：
2021-03-12
申请日 ：
2020-11-06
授权号 ：
CN112475613B
授权日 ：
2022-04-05
发明人 ：
叶铖润廖洋杜昆高文海刘科陈聪王佳彭宇杰冷雨欣李儒新
申请人 ：
中国科学院上海光学精密机械研究所
申请人地址 ：
上海市嘉定区清河路390号
代理机构 ：
上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
张宁展
优先权 ：
CN202011229792.1
主分类号 ：
B23K26/362
IPC分类号 ：
B23K26/362 B23K26/38 B23K26/382
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B23
机床；其他类目中不包括的金属加工
B23K
钎焊或脱焊；焊接；用钎焊或焊接方法包覆或镀敷；局部加热切割，如火焰切割；用激光束加工
B23K26/00
用激光束加工，例如焊接、切割、或打孔
B23K26/36
除掉材料
B23K26/362
激光刻蚀
法律状态
2022-04-05 ：
授权
2021-03-30 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : B23K 26/362
申请日 : 20201106
申请日 : 20201106
2021-03-12 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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