研磨液容器、摇匀装置、供应单元以及供应方法
实质审查的生效
摘要
本发明提供一种研磨液容器，包括：筒形侧壁，具有一研磨液出口；顶部封口，与所述筒形侧壁的顶部密封连接；底部封口，与所述筒形侧壁的底部密封连接。还提供一种研磨液摇匀装置，设置在研磨液供应单元内，包括：容器夹具，与研磨液容器相适配，以将所述研磨液容器夹住；驱动机构，驱动所述容器夹具旋转或振动，以使研磨液容器中的研磨液分布均匀。本发明提供的技术方案能够避免研磨液的沉降导致的悬浮物分布不均。
基本信息
专利标题 ：
研磨液容器、摇匀装置、供应单元以及供应方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114471298A
申请号 ：
CN202011257604.6
公开（公告）日 ：
2022-05-13
申请日 ：
2020-11-11
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
李善雄张月杨涛卢一泓刘青
申请人 ：
中国科学院微电子研究所;真芯（北京）半导体有限责任公司
申请人地址 ：
北京市朝阳区北土城西路3号
代理机构 ：
北京兰亭信通知识产权代理有限公司
代理人 ：
陈晓瑜
优先权 ：
CN202011257604.6
主分类号 ：
B01F31/60
IPC分类号 ：
B01F31/60 B01F31/00 B01F33/82 B01F35/42 B01F35/50
法律状态
2022-05-31 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : B01F 31/60
申请日 : 20201111
申请日 : 20201111
2022-05-13 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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