FeSe超导纳米线及其制备方法
实质审查的生效
摘要
FeSe超导纳米线及其制备方法，FeSe超导纳米线包括：钛酸锶衬底，钛酸锶衬底上表面经刻蚀形成凸起的弓字形钛酸锶纳米线以及与弓字形钛酸锶纳米线相连的多个用于测试的电极；FeSe外延层，覆盖于钛酸锶衬底上表面，其中，位于弓字形钛酸锶纳米线顶部的FeSe外延层用于形成弓字形FeSe纳米线，位于电极顶部的FeSe外延层用于形成探针结构；FeTe外延层，覆盖于FeSe外延层上表面；介质保护层，覆盖于FeSe外延层的侧壁及FeTe外延层上表面与侧壁。本发明提供的FeSe超导纳米线的制备方法可以提高FeSe超导纳米线的稳定性和使用寿命，降低超导纳米线单光子探测器的制冷成本，并使超导纳米线单光子探测器可应用于高温领域。
基本信息
专利标题 ：
FeSe超导纳米线及其制备方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114485965A
申请号 ：
CN202011260566.X
公开（公告）日 ：
2022-05-13
申请日 ：
2020-11-12
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
刘洪刚刘建华孙兵常虎东翟明龙
申请人 ：
中国科学院微电子研究所
申请人地址 ：
北京市朝阳区北土城西路3号
代理机构 ：
中科专利商标代理有限责任公司
代理人 ：
任岩
优先权 ：
CN202011260566.X
主分类号 ：
G01J11/00
IPC分类号 ：
G01J11/00 B82Y15/00 B82Y40/00
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01J
红外光、可见光、紫外光的强度、速度、光谱成分，偏振、相位或脉冲特性的测量；比色法；辐射高温测定法
G01J11/00
测量单个光脉冲或光脉冲序列的特性
法律状态
2022-05-31 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01J 11/00
申请日 : 20201112
申请日 : 20201112
2022-05-13 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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