一种传动机构和高精度显微镜

授权

摘要

本发明涉及一种传动机构和高精度显微镜。其包括：传动机构、驱动装置和平台组件。所述驱动装置包括第一轨道、移动台以及驱动组件，所述移动台通过滑块安装在第一轨道上，所述驱动组件用于驱动所述移动台沿第一轨道移动，所述平台组件包括第二轨道和平台，所述第二轨道与第一轨道平行设置，所述平台通过滑块安装在第二轨道上，所述传动机构的第一件体安装在所述平台上，所述传动机构的第六件体安装在所述移动台上，且所述传动机构的第一轴、第二轴以及第三轴分别与所述第二轨道平行。所述传动机构包括多个运动副，所述传动机构通过各个运动副将目标方向的驱动力进行传递，并将其它驱动力进行隔绝。进而可有效避免平台在Z方向产生振动。

基本信息

专利标题：

一种传动机构和高精度显微镜

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN112363310A

申请号：

CN202011264958.3

公开（公告）日：

2021-02-12

申请日：

2020-11-13

授权号：

CN112363310B

授权日：

2022-04-15

发明人：

殷跃锋

申请人：

殷跃锋

申请人地址：

江苏省苏州市工业园区香樟公寓9幢1301室

代理机构：

代理人：

优先权：

CN202011264958.3

主分类号：

G02B21/26

IPC分类号：

G02B21/26