高精度双边差动式光电显微镜
专利权的终止
摘要
一种高精度双边差动式光电显微镜,属于长度计量仪器。其主要特征在于光电转换部分采用了双边差动式转换方法,有效地抑制了光漂;光电系统利用遮光效应及小孔成像原理,光学像清晰,并可连续变倍。因此,对倍率、光强、光电接收面积等影响精度的主要因素,进行正交试验以确定最佳匹配参数。该显微镜用于小尺寸、形状复杂且精度要求高的工件(如千分尺丝杆螺纹及仪表齿轮轮廓等)进行动态瞄准,其瞄准极限误差3σ≤±0.07μm。
基本信息
专利标题 :
高精度双边差动式光电显微镜
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN86200360.1
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
1986-01-18
授权号 :
CN86200360U
授权日 :
1987-10-28
发明人 :
贾友义江涛
申请人 :
青海量具刃具厂;青海省计量局
申请人地址 :
810001青海省西安市昆仑路11号
代理机构 :
青海省专利服务中心
代理人 :
王绍文
优先权 :
CN86200360.1
主分类号 :
G01B9/04
IPC分类号 :
G01B9/04 G01B11/02
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量;角度的计量;面积的计量;不规则的表面或轮廓的计量
G01B9/00
组中所列的及以采用光学测量方法为其特征的仪器
G01B9/04
测量显微镜
法律状态
1990-06-27 :
专利权的终止
1988-05-04 :
授权
1987-10-28 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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