基于氮化硅/有机聚合物混合波导结构的高速电光调制器
公开
摘要
本发明公开了一种基于氮化硅/有机聚合物混合波导结构的高速电光调制器，包括1×2氮化硅波导MMI耦合器，氮化硅/有机聚合物纵向绝热模斑转换器，有机聚合物光波导相移器、GSG共面波导行波电极，其特征在于：器件中有机聚合物光波导相移器通过纵向绝热模斑转换器的波导间光传递和1×2氮化硅波导MMI耦合器的光分束/合束功能可实现光相位调制到光强度调制的转换；通过GSG共面波导行波电极上的电信号高速驱动可实现电信号到光信号的高速转换；本发明基于氮化硅/有机聚合物波导混合集成技术，不仅提供了一种高带宽、低插入损耗的硅基电光调制器解决方案，同时也为基于氮化硅波导的光电集成方案和硅基三维光电集成方案提供了可能。
基本信息
专利标题 ：
基于氮化硅/有机聚合物混合波导结构的高速电光调制器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114488580A
申请号 ：
CN202011266224.9
公开（公告）日 ：
2022-05-13
申请日 ：
2020-11-13
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
张赞允张凯鑫程倩
申请人 ：
天津工业大学
申请人地址 ：
天津市西青区宾水西道399号
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202011266224.9
主分类号 ：
G02F1/065
IPC分类号 ：
G02F1/065 G02B6/12 G02B6/14 G02F1/21 G02F1/225 G02B6/122 G02F1/361
IPC结构图谱
G
G部——物理
G02
光学
G02F
用于控制光的强度、颜色、相位、偏振或方向的器件或装置，例如转换、选通、调制或解调，上述器件或装置的光学操作是通过改变器件或装置的介质的光学性质来修改的；用于上述操作的技术或工艺；变频；非线性光学；光学逻辑元件；光学模拟/数字转换器
G02F1/00
控制来自独立光源的光的强度、颜色、相位、偏振或方向的器件或装置，例如，转换、选通或调制；非线性光学
G02F1/01
对强度、相位、偏振或颜色的控制
G02F1/061
基于电光有机材料的
G02F1/065
在光波导结构中的
法律状态
2022-05-13 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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