本申请提供一种光波导器件及其制备方法、电光调制器。光波导器件包括绝缘衬底、波导芯、至少两个电极及包层，所述至少两个电极及所述波导芯均设置于所述绝缘衬底上，所述至少两个电极分布于所述波导芯的两侧，所述包层覆盖所述波导芯的至少部分外壁，所述波导芯包括具有电光效应的电光材料，所述绝缘衬底的折射率小于所述波导芯的折射率，所述包层的折射率大于所述波导芯的折射率，或者，所述光波导器件还包括设于所述包层与所述波导芯之间的附加层，所述包层的折射率大于所述附加层的折射率。包层与波导芯组成混合波导，增强波导芯的光场限制能力，使得波导芯外部的光倏逝场分布范围变小,从而有效缩短至少两个电极之间的距离。