一种石墨烯电光调制器及其制备方法

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摘要

本发明公开了一种石墨烯电光调制器及制备方法，包括：衬底，其长宽高分别定义为X、Y、Z方向；设于衬底上的绝缘材料层；沿X方向间隔地设于绝缘材料层内的光输入端和光输出端；位于光输入端和光输出端之间的亚波长光栅波导结构，包括设于绝缘材料层内且上下布置的第一石墨烯层和折射率层及设于绝缘材料层上表面上的第二石墨烯层，折射率层两端分别与光输入端和光输出端相连，第一石墨烯层自折射率层一侧向外延伸并连接有第一金属电极，第二石墨烯层自折射率层另一侧向外延伸并连接有第二金属电极，折射率层包括沿X方向周期性布置的高折射率单元，相邻两个高折射率单元之间填充低折射率单元。本发明具有高调制效率、高3dB电光调制带宽的特点。

基本信息

专利标题：

一种石墨烯电光调制器及其制备方法

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN109541822A

申请号：

CN201811417278.3

公开（公告）日：

2019-03-29

申请日：

2018-11-26

授权号：

CN109541822B

授权日：

2022-06-03

发明人：

胡晓肖希张宇光陈代高李淼峰王磊冯朋余少华

申请人：

武汉邮电科学研究院有限公司;武汉光谷信息光电子创新中心有限公司

申请人地址：

湖北省武汉市洪山区邮科院路88号

代理机构：

武汉智权专利代理事务所(特殊普通合伙)

代理人：

邱云雷

优先权：

CN201811417278.3

主分类号：

G02F1/03

IPC分类号：

G02F1/03 G02F1/035