薄膜电光调制器芯片及调制器
授权
摘要
本实用新型公开了一种薄膜电光调制器芯片，包括：基底晶片、粘接层以及薄膜基板、光学波导、金属电极，所述薄膜基板放置于基底晶片的上方，所述粘接层放置于所述基底晶片和薄膜基板之间，所述金属电极放置于薄膜基板的上表面，其中，所述光学波导形成于薄膜基板中并放置于薄膜基板的底部。相应地，本申请还提供了一种薄膜电光调制器。本实用新型所提供的薄膜电光调制器芯片以及薄膜电光调制器结构，可以实现钛扩散、锌扩散、氧化锌扩散等离子高温扩散光学波导在键合于基底晶片上的电光晶体薄膜中的制备，且不会破坏晶体薄膜与基底晶片之间键合结构的有效性，实现高调制带宽、低半波电压的薄膜电光调制器的制备。
基本信息
专利标题 ：
薄膜电光调制器芯片及调制器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020649775.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-04-26
授权号 ：
CN211786458U
授权日 ：
2020-10-27
发明人 ：
李萍
申请人 ：
天津领芯科技发展有限公司
申请人地址 ：
天津市北辰区双街镇双街可信产业园B10-5-101
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202020649775.2
主分类号 ：
G02F1/03
IPC分类号 ：
G02F1/03 G02F1/035
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G02
光学
G02F
用于控制光的强度、颜色、相位、偏振或方向的器件或装置，例如转换、选通、调制或解调，上述器件或装置的光学操作是通过改变器件或装置的介质的光学性质来修改的；用于上述操作的技术或工艺；变频；非线性光学；光学逻辑元件；光学模拟/数字转换器
G02F1/00
控制来自独立光源的光的强度、颜色、相位、偏振或方向的器件或装置，例如，转换、选通或调制；非线性光学
G02F1/01
对强度、相位、偏振或颜色的控制
G02F1/03
基于陶瓷或电—光晶体的，例如，显示泡克耳斯或科尔效应的
法律状态
2020-10-27 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
1、
CN211786458U.PDF
PDF下载
