监测机台运行状况的方法及装置、存储介质及电子设备
实质审查的生效
摘要
本公开提供了一种监测机台运行状况的方法及装置、存储介质及电子设备，属于半导体技术领域。该方法包括：实时监测产品制备工艺过程，获取监控数据集；根据所述监控数据集，提取机台异常数据点；对所述机台异常数据点进行筛选，获得目标异常数据点；预设所述目标异常数据点对应的数量阈值；根据所述目标异常数据点的数量及所述数量阈值，判断是否产生报警信号。该方法以机台目标异常数据点为基础，确定机台报警标准，通过报警信号体现机台的运行状况，直观地给出机台运行状况信息，有利于工程师快速找出异常原因，从而提高排除异常效率，使整个过程及时达到可控状态。
基本信息
专利标题 ：
监测机台运行状况的方法及装置、存储介质及电子设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114551271A
申请号 ：
CN202011294106.9
公开（公告）日 ：
2022-05-27
申请日 ：
2020-11-18
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
吴雨祥王莉莉
申请人 ：
长鑫存储技术有限公司
申请人地址 ：
安徽省合肥市经济技术开发区空港工业园兴业大道388号
代理机构 ：
北京律智知识产权代理有限公司
代理人 ：
王辉
优先权 ：
CN202011294106.9
主分类号 ：
H01L21/67
IPC分类号 ：
H01L21/67 G08B21/00
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
法律状态
2022-06-14 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 21/67
申请日 : 20201118
申请日 : 20201118
2022-05-27 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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