一种薄膜材料的多场耦合型微波性能测试平台
授权
摘要
本发明属于微波测试技术领域,公开了一种薄膜材料的多场耦合型微波性能测试平台。该平台包括测试夹具、夹具固定及xy轴移动基座、夹具高度调整基座、附加场部件高度可调基座、流体注入/流出孔道、电场输入探针机构、样品拉伸机构、亥姆霍兹线圈、亥姆霍兹线圈旋转结构。本发明装置中的磁场由亥姆霍兹线圈产生、电场由外部电源与探针提供、力场由机械夹臂结构提供、温度场由加热装置与液氮系统提供。本发明通过结合多个外场装置提供了薄膜材料在单一/复合外场条件下的微波性能测试平台,同时多个平台间相互独立,方便根据测试要求进行外场选择,薄膜材料也可以直接进行测试,无须进行传统的制样操作。
基本信息
专利标题 :
一种薄膜材料的多场耦合型微波性能测试平台
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN112505448A
申请号 :
CN202011311193.4
公开(公告)日 :
2021-03-16
申请日 :
2020-11-20
授权号 :
CN112505448B
授权日 :
2022-05-20
发明人 :
张雪峰李逸兴冀连泽
申请人 :
东北大学
申请人地址 :
辽宁省沈阳市和平区文化路三巷11号
代理机构 :
大连理工大学专利中心
代理人 :
陈玲玉
优先权 :
CN202011311193.4
主分类号 :
G01R31/00
IPC分类号 :
G01R31/00 G01R1/04 G01R1/28
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01R
测量电变量;测量磁变量
G01R31/00
电性能的测试装置;电故障的探测装置;以所进行的测试在其他位置未提供为特征的电测试装置;在制造过程中测试或测量半导体或固体器件入H01L21/66;线路传输系统的测试入H04B3/46)
法律状态
2022-05-20 :
授权
2021-04-02 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01R 31/00
申请日 : 20201120
申请日 : 20201120
2021-03-16 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载