基于立体视觉引导的目标位置三维形貌高精度快速测量方法和装...
公开
摘要
本发明属于光学精密测量技术领域，涉及一种基于立体视觉引导的目标位置三维形貌高精度快速测量方法和装置。本发明提出对被测样品表面先采用立体视觉形貌测量方法进行大范围的三维形貌快速测量；基于该测量数据，得到需高精度测量的局部区域的位置信息；并引导显微三维形貌测量技术对需高精度测量的局部区域表面的形貌进行高精度的测量；最后将两组测量结果进行数据融合，得到被测样品表面的整体全局测量结果和局部高精度测量结果。本发明首次将立体视觉三维形貌测量技术和显微三维形貌测量技术进行融合，具有测量精度高、测量速度快、抗环境干扰能力强等优点，可用于需要对局部区域进行高精度检测的样品的三维形貌测量。
基本信息
专利标题 ：
基于立体视觉引导的目标位置三维形貌高精度快速测量方法和装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114543702A
申请号 ：
CN202011335835.4
公开（公告）日 ：
2022-05-27
申请日 ：
2020-11-25
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
杨佳苗沈阳刘林仙童强何巧芝邵荣君陈成邹高宇马奎
申请人 ：
绍兴钜光光电科技有限公司
申请人地址 ：
浙江省绍兴市上虞区岭南乡覆卮村廉士下1-75号
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202011335835.4
主分类号 ：
G01B11/25
IPC分类号 ：
G01B11/25 G01B11/30
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/00
以采用光学方法为特征的计量设备
G01B11/24
用于计量轮廓或曲率
G01B11/25
通过在物体上投影一个图形，例如莫尔条纹
法律状态
2022-05-27 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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