一种用于集成微型热电换能器件的装置与方法
实质审查的生效
摘要
本发明涉及半导体器件领域，具体涉及一种用于集成微型热电换能器件的装置与方法。该装置的减震支撑基座设有大理石支架和减震平台，大理石支架放置在减震平台上；显微识别定位系统固定在大理石支架和减震平台上，转移吸附系统固定在大理石支架上，供料器、基板样品台和控制器固定在减震底座，热电粒子和上电极基板放置在供料器上，下电极基板固定在基板样品台上；控制器通过数据线与显微识别定位系统、转移吸附系统和基板样品台的互连，并实现各部分的集中控制和联动过程。本发明可以成功将小尺寸的热电粒子以较高的定位精度转移到下电极基板上，实现P型和N型热电粒子的图形化排列，进而实现热电器件的电串联和热并联。
基本信息
专利标题 ：
一种用于集成微型热电换能器件的装置与方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114551710A
申请号 ：
CN202011349524.3
公开（公告）日 ：
2022-05-27
申请日 ：
2020-11-26
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
邰凯平赵洋乔吉祥孙东明
申请人 ：
中国科学院金属研究所
申请人地址 ：
辽宁省沈阳市沈河区文化路72号
代理机构 ：
沈阳优普达知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
张志伟
优先权 ：
CN202011349524.3
主分类号 ：
H01L35/34
IPC分类号 ：
H01L35/34
法律状态
2022-06-14 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 35/34
申请日 : 20201126
申请日 : 20201126
2022-05-27 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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