本发明属于有机硅处理设备技术领域，具体涉及一种高效去除氯硅烷水解副产氯化氢中硅氧烷的装置及方法。包括硅氧烷去除塔，硅氧烷去除塔的底部设置有进气口，顶部设置有出气口，硅氧烷去除塔内部从下向上依次间隔设有第一填料层、第一气体重整装置、第二填料层、第二气体重整装置和带电室，第一填料层的上部设有第一冲洗装置，第二填料层的上部设有第二冲洗装置，第一冲洗装置与第二冲洗装置分别与塔壁上的冲洗口连通，硅氧烷去除塔的塔底设有第一循环液进口，第一气体重整装置相对的塔侧壁上设有第二循环液进口。本发明的装置结构简单、运行成本低、硅氧烷去除率高。