本发明公开一种对位调整方法、装置及设备，用于在硬件安装精度较低的条件下仍能够实现治具于产品的高精度对位。该方法包括：调整当前治具的位置，以使所述位置与COF产品具有固定位置关系；控制所述治具移动到初始位置，并根据预先获取的治具的移动偏移量，控制所述治具的各个pin针与所述COF产品的各个曝光点pad中心对准；所述初始位置为根据位于所述pad区域内且与所述pad中心未对齐的pin针位置确定的所述治具的位置；所述治具的各个pin针与所述各个pad的数量和分布规律相同；所述移动偏移量是通过显微镜获取的位于初始位置的所述治具的pin针，与对应的所述COF产品上所述pad上的标志点之间的偏差值确定的。