薄膜压电致动器
公开
摘要
本发明涉及一种薄膜压电致动器。薄膜压电致动器具备：基板；下部电极，其层叠于基板；层叠结构体，其层叠于下部电极，且包含以将中间电极夹于其间的方式交替地层叠的多个薄膜压电膜；上部电极，其层叠于层叠结构体；第一保护层，其设置于上部电极的上表面，且由包含铁、钴和钼的合金材料构成；及第二保护层，其至少设置于中间电极中的未被夹于薄膜压电膜之间的端部的上表面，且由包含铁、钴和钼的合金材料构成。根据本发明，提供了一种能够谋求高性能化并且能够有效地抑制在下层的压电膜的端部产生裂纹的薄膜压电致动器。
基本信息
专利标题 ：
薄膜压电致动器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114583041A
申请号 ：
CN202011372354.0
公开（公告）日 ：
2022-06-03
申请日 ：
2020-11-30
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
熊伟石脉茹何飞
申请人 ：
TDK株式会社
申请人地址 ：
日本东京都
代理机构 ：
北京尚诚知识产权代理有限公司
代理人 ：
杨琦
优先权 ：
CN202011372354.0
主分类号 ：
H01L41/053
IPC分类号 ：
H01L41/053 H01L41/083 H01L41/09
法律状态
2022-06-03 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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