致动器
专利权的终止
摘要

一种致动器,包括框架;一对彼此隔开的可移动梳状电极;设置在这对可移动梳状电极之间的可移动部;一对支撑部;至少一对固定梳状电极,设置在框架上分别相应于这对可移动梳状电极的位置处;至少一对第一弹性连接部,分别将这对可移动梳状电极连接至这对支撑部;至少一对第二弹性连接部,分别将可移动部连接至这对可移动梳状电极,这对可移动梳状电极的每个都由通过在每个固定梳状电极和相应的可移动梳状电极之间施加交流电压产生的库仑力驱动,由此可移动部旋转,这对可移动梳状电极的每个的第一电极齿和相应的至少一对固定梳状电极的每个的第二电极齿配置为使得在固定梳状电极和相应的可移动梳状电极之间没有施加交流电压的情形下可移动梳状电极的每个的第一电极齿的至少一部分与相应的固定梳状电极的第二电极齿的一部分重叠。

基本信息
专利标题 :
致动器
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN1800906A
申请号 :
CN200510136973.9
公开(公告)日 :
2006-07-12
申请日 :
2005-12-15
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
与田光宏
申请人 :
精工爱普生株式会社
申请人地址 :
日本东京
代理机构 :
中科专利商标代理有限责任公司
代理人 :
宋合成
优先权 :
CN200510136973.9
主分类号 :
G02B26/12
IPC分类号 :
G02B26/12  H04N1/04  
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G02
光学
G02B
光学元件、系统或仪器附注
G02B26/00
利用可移动的或可变形的光学元件控制光的强度、颜色、相位、偏振或方向的光学器件或装置,例如,开关、选通或调制
G02B26/08
控制光的方向
G02B26/10
扫描系统
G02B26/12
用多面反射镜的
法律状态
2020-11-27 :
专利权的终止
未缴年费专利权终止IPC(主分类) : G02B 26/12
申请日 : 20051215
授权公告日 : 20080618
终止日期 : 20191215
2008-06-18 :
授权
2006-09-06 :
实质审查的生效
2006-07-12 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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