图案描绘装置
授权
摘要
本发明的光束扫描装置(MD)，是一边将光束(LB)的点光(SP)投射于对象物(FS)的被照射面、一边进行该点光(SP)于该被照射面上沿扫描线(SLn)的一维扫描，其具备：射入光束(LB)的入射光学构件(M10)、将来自入射光学构件(M10)的光束(LB)为进行扫描而加以偏向的扫描用偏向构件(PM)、射入经偏向的光束(LB)后投射于被照射面的投射光学系(FT)、以及支承入射光学构件(M10)、扫描用偏向构件(PM)及投射光学系(FT)、可绕与照射中心轴(Le)在既定容许范围内成同轴的第1旋转中心轴(Mrp)旋转的支承架(40)，该照射中心轴系相对该被照射面垂直通过以该点光(SP)的扫描在该被照射面上形成的扫描线(SLn)的中点。
基本信息
专利标题 ：
图案描绘装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN110596888A
申请号 ：
CN201910841697.8
公开（公告）日 ：
2019-12-20
申请日 ：
2016-03-18
授权号 ：
CN110596888B
授权日 ：
2022-04-01
发明人 ：
铃木智也加藤正纪小宫山弘树
申请人 ：
株式会社尼康
申请人地址 ：
日本东京都
代理机构 ：
北京三友知识产权代理有限公司
代理人 ：
刘金凤
优先权 ：
CN201910841697.8
主分类号 ：
G02B26/12
IPC分类号 ：
G02B26/12 G03F7/20 G03F7/24 H01L21/027
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G02
光学
G02B
光学元件、系统或仪器附注
G02B26/00
利用可移动的或可变形的光学元件控制光的强度、颜色、相位、偏振或方向的光学器件或装置，例如，开关、选通或调制
G02B26/08
控制光的方向
G02B26/10
扫描系统
G02B26/12
用多面反射镜的
法律状态
2022-04-01 ：
授权
2020-01-14 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G02B 26/12
申请日 : 20160318
申请日 : 20160318
2019-12-20 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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