光束扫描装置及图案描绘装置
授权
摘要
本发明的描绘单元(Un)具备具有折射能力的fθ透镜系统(FT)，且以与多面镜(PM)的反射面(RP)的角度变化相应的扫描速度使点光(SP)进行扫描，该fθ透镜系统(FT)使经角度可变的多面镜(PM)的反射面(RP)偏向的加工用光束(LBn)入射，并使加工用光束(LBn)于基板P聚光为点光(SP)。描绘单元(Un)具备：光电转换元件(DTo)，其接收朝向多面镜(PM)的反射面(RP)投射的原点检测用激光光束(Bga)的反射光束(Bgb)，并输出表示多面镜(PM)的反射面(RP)成为既定角度的时间点的原点信号(SZn)；及透镜系统(GLb)，其被设定为较fθ透镜系统(FT)的折射能力低的折射能力，且使反射光束(Bgb)于光电转换元件(DTo)聚光为点光(SPr)。
基本信息
专利标题 ：
光束扫描装置及图案描绘装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN109804314A
申请号 ：
CN201780060673.8
公开（公告）日 ：
2019-05-24
申请日 ：
2017-09-04
授权号 ：
CN109804314B
授权日 ：
2022-04-01
发明人 ：
加藤正纪鬼头义昭
申请人 ：
株式会社尼康
申请人地址 ：
日本东京都
代理机构 ：
北京三友知识产权代理有限公司
代理人 ：
王天尧
优先权 ：
CN201780060673.8
主分类号 ：
G03F7/20
IPC分类号 ：
G03F7/20 G02B26/08 G02B26/10 G02B26/12 G03F7/24
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
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G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
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G03F7/20
曝光及其设备
法律状态
2022-04-01 ：
授权
2019-06-18 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G03F 7/20
申请日 : 20170904
申请日 : 20170904
2019-05-24 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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