图案描绘装置及基板处理装置、以及图案描绘方法及元件制造方...
授权
摘要
本发明是一种图案描绘装置(EX)，其是一面将来自光源(LS)的射束(LB)根据图案信息进行强度调变，一面将射束(LB)投射至基板(P)上而于主扫描方向进行扫描，藉此于基板(P)上形成图案者，且具备：扫描装置(14)，其是为了使射束(LB)于主扫描方向上扫描，而将包含使来自光源(LS)的射束(LB)偏向的偏向构件(PM)的多个扫描单元(Un)，以投射至基板(P)上的射束(LB)的扫描轨迹相互错开的方式配置；及电光偏向装置(BDU)，其是为了将来自光源(LS)的射束(LB)分时供给至多个扫描单元(Un)的各者，而将来自光源(LS)的射束(LB)切换为偏向状态或非偏向状态，并且为了使射束(LB)的扫描轨迹于与主扫描方向交叉的副扫描方向移位，而可调整射束(LB)的偏向角。
基本信息
专利标题 ：
图案描绘装置及基板处理装置、以及图案描绘方法及元件制造方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN110082905A
申请号 ：
CN201910086630.8
公开（公告）日 ：
2019-08-02
申请日 ：
2016-09-27
授权号 ：
CN110082905B
授权日 ：
2022-06-03
发明人 ：
加藤正纪中山修一
申请人 ：
株式会社尼康
申请人地址 ：
日本东京都
代理机构 ：
北京三友知识产权代理有限公司
代理人 ：
孙乳笋
优先权 ：
CN201910086630.8
主分类号 ：
G02B26/12
IPC分类号 ：
G02B26/12 G03F7/20 G02F1/33
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G02
光学
G02B
光学元件、系统或仪器附注
G02B26/00
利用可移动的或可变形的光学元件控制光的强度、颜色、相位、偏振或方向的光学器件或装置，例如，开关、选通或调制
G02B26/08
控制光的方向
G02B26/10
扫描系统
G02B26/12
用多面反射镜的
法律状态
2022-06-03 ：
授权
2019-08-27 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G02B 26/12
申请日 : 20160927
申请日 : 20160927
2019-08-02 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
1、
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