异常判定方法及描绘装置
授权
摘要
本发明的实施方式涉及异常判定方法及描绘装置。本实施方式的异常判定方法，具备如下步骤：在第1腔室内将第1接地部件安装于处理对象时，经由第1接地部件测定处理对象的第1电阻值，在第2腔室内，使被接地的第2接地部件与第1接地部件接触，经由第1接地部件及第2接地部件，测定处理对象的第2电阻值，基于多个处理对象的第1电阻值与第2电阻值之间的电阻差的动向，进行第2接地部件的异常判定。
基本信息
专利标题 ：
异常判定方法及描绘装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN110874023A
申请号 ：
CN201910812777.0
公开（公告）日 ：
2020-03-10
申请日 ：
2019-08-30
授权号 ：
CN110874023B
授权日 ：
2022-04-15
发明人 ：
金泽骏
申请人 ：
纽富来科技股份有限公司
申请人地址 ：
日本神奈川县
代理机构 ：
永新专利商标代理有限公司
代理人 ：
刘英华
优先权 ：
CN201910812777.0
主分类号 ：
G03F7/20
IPC分类号 ：
G03F7/20
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/20
曝光及其设备
法律状态
2022-04-15 ：
授权
2020-04-03 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G03F 7/20
申请日 : 20190830
申请日 : 20190830
2020-03-10 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
1、
CN110874023A.PDF
PDF下载
