脉冲激光清洗方法
授权
摘要
本公开提供一种脉冲激光清洗方法,包括分别对第一电机和第二电机施加第一周期信号和第二周期信号,以驱动第一振镜和第二振镜进行第一方向和第二方向扫描;第一周期信号周期为第二周期信号周期的两倍,在第二周期信号一个周期内,第一周期信号与第二周期信号具有相同的两个第一时间区间和一个第二时间区间;第一周期信号在第二时间区间内波形斜率为零,其在第一时间区间内波形斜率的绝对值与第二周期信号在第二时间区间内波形斜率的绝对值相等,且第二周期信号在两时间区间内波形斜率的绝对值不相等;采用脉冲激光器对待清洗件表面进行激光扫描处理,利用工业机器人带动激光加工头在第二方向移动,以实现对待清洗件表面的清洗。
基本信息
专利标题 :
脉冲激光清洗方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN112676267A
申请号 :
CN202011435616.3
公开(公告)日 :
2021-04-20
申请日 :
2020-12-10
授权号 :
CN112676267B
授权日 :
2022-05-31
发明人 :
林学春余海军张志研赵树森王红洋董智勇
申请人 :
中国科学院半导体研究所
申请人地址 :
北京市海淀区清华东路甲35号
代理机构 :
中科专利商标代理有限责任公司
代理人 :
王文思
优先权 :
CN202011435616.3
主分类号 :
B08B7/00
IPC分类号 :
B08B7/00 B08B13/00
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B08
清洁
B08B
一般清洁;一般污垢的防除
B08B7/00
不包含在其他小类或本小类的其他组中的清洁方法
法律状态
2022-05-31 :
授权
2021-05-07 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : B08B 7/00
申请日 : 20201210
申请日 : 20201210
2021-04-20 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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