一种微悬梁臂探针及其制作方法
公开
摘要
本发明提供一种微悬梁臂探针及其制作方法，该方法包括以下步骤：提供一自下而上依次包括背衬底、绝缘层及顶层硅的SOI衬底，形成硬掩膜层于所述顶层硅上；图形化所述硬掩膜层，图形化后的所述硬掩膜层覆盖探针针尖所在区域；形成悬梁臂凹槽于所述顶层硅中，所述悬梁臂凹槽自所述顶层硅的顶面开口，并往所述绝缘层方向延伸，但未到达所述绝缘层；以图形化后的所述硬掩膜层为掩膜刻蚀所述顶层硅，直至所述悬梁臂凹槽的底部显露出所述绝缘层，以同步得到悬梁臂及位于所述悬梁臂上方的探针。本发明同步形成悬梁臂及探针，并利用键合胶保护探针针尖结构在工艺过程中不被损坏，工艺更加稳定可控，可以批量稳定地制作高质量的微悬梁臂探针。
基本信息
专利标题 ：
一种微悬梁臂探针及其制作方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114620669A
申请号 ：
CN202011454662.8
公开（公告）日 ：
2022-06-14
申请日 ：
2020-12-10
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
潘强
申请人 ：
上海新微技术研发中心有限公司
申请人地址 ：
上海市嘉定区城北路235号1号楼
代理机构 ：
上海光华专利事务所(普通合伙)
代理人 ：
刘星
优先权 ：
CN202011454662.8
主分类号 ：
B81B1/00
IPC分类号 ：
B81B1/00 B81B7/02 B81C1/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B81
微观结构技术
B81B
微观结构的装置或系统，例如微观机械装置
B81B1/00
不具有活动或柔性元件的装置，例如微毛细管装置
法律状态
2022-06-14 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
