一种管道端帽、输送管路以及半导体设备
公开
摘要
本发明公开了一种管道端帽、输送管路以及半导体设备，该管道端帽用于密封管道的末端，包括：盖体，用于盖住管道的末端端口；第一密封圈，设置于盖体上，用于密封盖体与管道的末端端面之间的间隙；以及插入部，与盖体连接，且沿垂直于盖体的方向延伸，用于从管道的末端开口插入管道内。通过插入部的阻挡作用，能够有效地降低运输物质从端帽处泄漏到外部环境中的风险。
基本信息
专利标题 ：
一种管道端帽、输送管路以及半导体设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114623308A
申请号 ：
CN202011455615.5
公开（公告）日 ：
2022-06-14
申请日 ：
2020-12-10
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
边大一白国斌高建峰王桂磊田光辉丁云凌
申请人 ：
中国科学院微电子研究所;真芯（北京）半导体有限责任公司
申请人地址 ：
北京市朝阳区北土城西路3号
代理机构 ：
北京华沛德权律师事务所
代理人 ：
房德权
优先权 ：
CN202011455615.5
主分类号 ：
F16L55/115
IPC分类号 ：
F16L55/115 F16L55/11 F16L58/18
IPC结构图谱
F
F部——机械工程；照明；加热；武器；爆破
F16
工程元件或部件；为产生和保持机器或设备的有效运行的一般措施；一般绝热
F16L
管子；管接头或管件；管子、电缆或护管的支撑；一般的绝热方法
F16L
管子；管接头或管件；管子、电缆或护管的支撑；一般的绝热方法
F16L55/00
在管子或管系中使用的及与管子或管系有关的设备及备件
F16L55/10
用于停止流入或流出管子或软管的装置
F16L55/115
帽盖
法律状态
2022-06-14 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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