一种半导体制程特种气体用输送管道
授权
摘要
本实用新型公开了一种半导体制程特种气体用输送管道，包括输送管道，所述输送管道上套设有固定环，所述固定环内套设有密封套垫，所述固定环上相对的侧壁上均固定连接有限位环，两个所述限位环上相对的侧壁上均螺纹连接有限位机构，所述输送管道的侧壁上固定连接有两个连接环，两个所述连接环与固定环之间通过多个连接装置相连接。本实用新型结构设计合理，减少了气体输送管道的安全隐患。
基本信息
专利标题 ：
一种半导体制程特种气体用输送管道
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020060666.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-01-13
授权号 ：
CN211780217U
授权日 ：
2020-10-27
发明人 ：
程诚
申请人 ：
苏州锐泽系统工程有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市高新区科发路101号南楼905室
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202020060666.7
主分类号 ：
F17D1/02
IPC分类号 ：
F17D1/02 F17D5/00
相关图片
IPC结构图谱
F
F部——机械工程；照明；加热；武器；爆破
F17
气体或液体的贮存或分配
F17D
管道系统；管路
F17D
管道系统；管路
F17D1/00
管道系统
F17D1/02
用于气体或蒸气的
法律状态
2020-10-27 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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