一种半导体制程特种气体输送管道的检漏装置

专利权的终止

摘要

本实用新型公开了一种半导体制程特种气体输送管道的检漏装置，包括工作台、气泵和液压缸，工作台的上端固定连接有两块侧板，气泵和液压缸均固定安装于其中一块侧板的一端侧壁上，液压缸的一端固定连接有连接板，连接板内设有腔室，气泵的出气端与腔室的顶部连通设置，其中一块侧板与腔室的相对侧壁上均连通设有多个一一对应设置的通气孔，多个通气孔内均安装有防尘板，两端对应设置的防尘板的相对侧壁上均固定连接有多根限位杆，侧板上的多个通气孔的一端均连通设有弹性气囊。本实用新型不仅能有效地对半导体制程特种气体输送管道进行检漏处理，还能提高装置对对半导体制程特种气体输送管道的检漏效率。

基本信息

专利标题：

一种半导体制程特种气体输送管道的检漏装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202020316318.1

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-03-15

授权号：

CN211784109U

授权日：

2020-10-27

发明人：

汪德生

申请人：

苏州锐泽系统工程有限公司

申请人地址：

江苏省苏州市高新区科发路101号南楼905室

代理机构：

代理人：

优先权：

CN202020316318.1

主分类号：

G01M3/14

IPC分类号：

G01M3/14