一种半导体制程特种气体输送管道用吊装结构
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摘要
本实用新型公开了一种半导体制程特种气体输送管道用吊装结构,包括上壳体和下壳体,所述上壳体下方胶合连接有上气垫,所述下壳体上方胶合连接有下气垫,所述上壳体和下壳体之间通过两侧的锁紧件连接,所述上气垫和下气垫之间通过两侧的密封件连接。本实用新型通过设置锁紧件和密封件,当上壳体和下壳体通过锁紧件相互锁紧时,锁紧件在带动上壳体和下壳体相互靠近的同时,在主齿轮和副齿轮等部件的传动作用下,密封件中的下密封板与上密封板能够相互抵住,由于上密封板下端和下密封板上端均设置有密封胶层,因此两块密封板之间能够实现胶合连接,从而使上气垫和下气垫之间相互连接,能够保证气垫层对管道的缓冲效果,提高了管道的稳定性。
基本信息
专利标题 :
一种半导体制程特种气体输送管道用吊装结构
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202020060676.0
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-01-13
授权号 :
CN211779635U
授权日 :
2020-10-27
发明人 :
刘志祥
申请人 :
苏州锐泽系统工程有限公司
申请人地址 :
江苏省苏州市高新区科发路101号南楼905室
代理机构 :
代理人 :
优先权 :
CN202020060676.0
主分类号 :
F16L55/035
IPC分类号 :
F16L55/035 F16L3/10
相关图片
IPC结构图谱
F
F部——机械工程;照明;加热;武器;爆破
F16
工程元件或部件;为产生和保持机器或设备的有效运行的一般措施;一般绝热
F16L
管子;管接头或管件;管子、电缆或护管的支撑;一般的绝热方法
F16L
管子;管接头或管件;管子、电缆或护管的支撑;一般的绝热方法
F16L55/00
在管子或管系中使用的及与管子或管系有关的设备及备件
F16L55/02
消能装置;消音装置
F16L55/033
噪音吸收
F16L55/035
特别适合吊钩或支撑
法律状态
2020-10-27 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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