一种半导体制程用管道气体流速检测装置

专利权的终止

摘要

本实用新型公开了一种半导体制程用管道气体流速检测装置，包括安装在管道上的气体流速检测表，所述气体流速检测表的进气管位于管道内，所述管道的上端固定连接有装置柱，所述装置柱内设有条形腔，所述条形腔内设有往复机构，所述进气管内安装有过滤网，所述进气管的上端设有安装口，所述安装口内贯穿设有与往复机构连接的清理机构。本实用新型结构合理，能够自动的将过滤网上的杂质扫除，保证流速检测的准确性。

基本信息

专利标题：

一种半导体制程用管道气体流速检测装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202020316319.6

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-03-15

授权号：

CN211913056U

授权日：

2020-11-13

发明人：

汪德生

申请人：

苏州锐泽系统工程有限公司

申请人地址：

江苏省苏州市高新区科发路101号南楼905室

代理机构：

代理人：

优先权：

CN202020316319.6

主分类号：

B01D46/00

IPC分类号：

B01D46/00 B01D46/10 B01D46/44