本发明提供一种气体流速校验设备，它可以在多工具半导体处理平台中共用。此气体流速校验设备用来测量测试体积内的压力增长速率和温度，以确定相应的气体流速。所述设备包括：限定在第一室内的第一体积；限定在第二室内的第二体积，第二体积大于第一体积，其中通过至少一个阀门，使第二体积与第一体积相隔离，其中第一体积和第二体积中的每一个，或第一和第二体积两者可选为测量气体流速的测试体积；第一压力测量装置，它在结构上与第一体积或第二体积，或第一和第二体积两者，通过流体联通连接。本发明还提供一种校正质量流控制器的方法。