一种半导体制程特种气体输送管道密封结构

专利权的终止

摘要

本实用新型公开了一种半导体制程特种气体输送管道密封结构，包括底座和安插在底座内的横杆，所述底座的中部固定有套接在横杆上的主基座，所述主基座的顶部安装有主圆环，所述底座内关于主基座对称设置有两个复位机构，两个所述复位机构上均安装有副基座，两个所述副基座的顶部均安装有副圆环，两个所述副圆环内分别固定插设有管道，两个所述管道相对的一端分别通过弹性机构与主圆环的左右两侧相连接。本实用新型在半导体制程特种气体传输的过程中顺时的气流冲击力可以经由两个管道之间的相对活动被缓冲抵消掉，从而避免管道连接处的破裂，保证半导体制程特种气体的持续、正常输送。

基本信息

专利标题：

一种半导体制程特种气体输送管道密封结构

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202020316320.9

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-03-15

授权号：

CN211779620U

授权日：

2020-10-27

发明人：

汪德生

申请人：

苏州锐泽系统工程有限公司

申请人地址：

江苏省苏州市高新区科发路101号南楼905室

代理机构：

代理人：

优先权：

CN202020316320.9

主分类号：

F16L51/02

IPC分类号：

F16L51/02 F16L55/035