一种半导体制程特种气体输送管道用支撑架

授权

摘要

本实用新型公开了一种半导体制程特种气体输送管道用支撑架，包括底座，底座上固定连接有支撑柱，支撑柱内设有空腔，空腔内滑动连接有竖直的螺纹杆，螺纹杆顶端固定连接有连接件，连接件顶端设有开槽，开槽内转动连接有方向件，方向件位于开槽内的两端均固定连接有转轴，两个转轴均与开槽侧壁转动连接，其中一个转轴贯穿开槽侧壁并延伸至外界连接有限位机构，方向件顶端固定连接有固定环。本实用新型通过设置支撑柱、螺纹杆以及转盘等结构能够实现支撑架的高度调节，同时通过设置连接件、方向件以及转轴等结构能够实现对固定环方向的调节，从而能够对不同高度、不同角度的管道进行支撑固定。

基本信息

专利标题：

一种半导体制程特种气体输送管道用支撑架

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202020060104.2

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-01-13

授权号：

CN211779392U

授权日：

2020-10-27

发明人：

刘志祥

申请人：

苏州锐泽系统工程有限公司

申请人地址：

江苏省苏州市高新区科发路101号南楼905室

代理机构：

代理人：

优先权：

CN202020060104.2

主分类号：

F16L3/10

IPC分类号：

F16L3/10 F16L3/16