本发明涉及一种间隙面差测量仪，包括外壳、外壳封板、数据处理集成模块、间隙测量机构和面差测量机构，所述间隙测量机构和面差测量机构设置在外壳与外壳封板组成的腔体内，所述数据处理集成模块设置在外壳上，所述数据处理集成模块分别与间隙测量机构和面差测量机构相连。本发明的优点是：能够同时测量间隙和面差值，提高测量效率；能够获取连续不间断的间隙和面差数据，便于快速分析和发现问题；可单独作为间隙尺或面差尺使用，使用灵活。