差分式MEMS气体传感器
授权
摘要
本发明提供了一种差分式MEMS气体传感器，其内部设有腔空间镜像对称且设于同一层的两组腔室组，每组腔室组各包括相交连通的气室腔和声室腔；每个声室腔内各设有一用来检测声音信号的微音器；每组腔室组仅通过其气室腔的顶部腔壁设有的多个透气孔与差分式MEMS气体传感器外的大气相连通；其中一组腔室组的气室腔还配备有激光组件，所述激光组件产生的激光能射入至该气室腔内。本发明采用双气室差分设计，极大降低环境噪声对测量的影响，精度高，体积小。
基本信息
专利标题 ：
差分式MEMS气体传感器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN112730264A
申请号 ：
CN202011556399.3
公开（公告）日 ：
2021-04-30
申请日 ：
2020-12-24
授权号 ：
CN112730264B
授权日 ：
2022-04-01
发明人 ：
高建民李东光张雪岭俞晓涛卢美娟胥海艳樊海春张涛
申请人 ：
天津同阳科技发展有限公司
申请人地址 ：
天津市滨海新区高新区华苑产业区兰苑路五号A座-702
代理机构 ：
天津合正知识产权代理有限公司
代理人 ：
李震勇
优先权 ：
CN202011556399.3
主分类号 ：
G01N21/17
IPC分类号 ：
G01N21/17 G01N21/31
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N21/00
利用光学手段，即利用亚毫米波、红外光、可见光或紫外光来测试或分析材料
G01N21/17
入射光根据所测试的材料性质而改变的系统
法律状态
2022-04-01 ：
授权
2021-05-21 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01N 21/17
申请日 : 20201224
申请日 : 20201224
2021-04-30 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
1、
CN112730264A.PDF
PDF下载
