差压传感器
实质审查的生效
摘要
本发明提供了一种差压传感器,包括基座、中心膜片、测量电容极板和参考电容极板:中心膜片将腔体分隔成第一测量腔室和第二测量腔室,第一测量腔室和第二测量腔室分别与第一通道孔和第二通道孔连通;第一测量腔室和第二测量腔室内部填充有绝缘介质;测量电容极板和参考电容极板之间绝缘连接;测量电容极板设置在中心膜片两侧且靠近中心膜片的中心区域并形成测量电容,其中,测量电容的数量不少于两个;参考电容极板设置在中心膜片两侧且远离中心膜片的中心区域并形成参考电容,其中,参考电容的数量不少于两个。本发明中通过增加参考电容,并且将参考电容设置在远离中心膜片的中心区域的位置,基本能消除由于温度变化和静压变化导致的测量误差。
基本信息
专利标题 :
差压传感器
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114279622A
申请号 :
CN202111440699.X
公开(公告)日 :
2022-04-05
申请日 :
2021-11-30
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
谢一飞郭飚刘文斌孙建佟志权成广权郑成科
申请人 :
浙江中控技术股份有限公司;浙江中控传感技术有限公司
申请人地址 :
浙江省杭州市滨江区六和路309号
代理机构 :
上海汉声知识产权代理有限公司
代理人 :
胡晶
优先权 :
CN202111440699.X
主分类号 :
G01L13/06
IPC分类号 :
G01L13/06 G01L9/00
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01L
测量力、应力、转矩、功、机械功率、机械效率或流体压力
G01L13/00
测量两个或更多个流体压力差值的设备或仪表
G01L13/06
应用电或磁的压敏元件的
法律状态
2022-04-22 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01L 13/06
申请日 : 20211130
申请日 : 20211130
2022-04-05 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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