差压传感器
专利申请权、专利权的转移
摘要

本实用新型提供一种差压传感器,包括由上盖板、工字型挡墙和基板形成的封装结构,上盖板与工字型挡墙形成第一腔室,工字型挡墙与基板形成第二腔室,在第一腔室设置有MEMS芯片,在第二腔室设置有ASIC芯片,其中,在上盖板上设置有第一透气孔,在工字型挡墙的横梁上设置有第二透气孔,在基板上设置有第三透气孔;MEMS芯片设置在工字型挡墙的横梁上,并且MEMS芯片与第二透气孔相连通。利用本实用新型,能够解决现有的差压传感器由于结构设置,封装应力对MEMS芯片和ASIC芯片有影响而导致差压传感器性能差的问题。

基本信息
专利标题 :
差压传感器
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201920736473.6
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-05-21
授权号 :
CN210166071U
授权日 :
2020-03-20
发明人 :
闫文明
申请人 :
歌尔科技有限公司
申请人地址 :
山东省青岛市崂山区北宅街道投资服务中心308室
代理机构 :
北京鸿元知识产权代理有限公司
代理人 :
袁文婷
优先权 :
CN201920736473.6
主分类号 :
G01L13/00
IPC分类号 :
G01L13/00  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01L
测量力、应力、转矩、功、机械功率、机械效率或流体压力
G01L13/00
测量两个或更多个流体压力差值的设备或仪表
法律状态
2020-07-03 :
专利申请权、专利权的转移
专利权的转移IPC(主分类) : G01L 13/00
登记生效日 : 20200615
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 歌尔科技有限公司
变更后权利人 : 歌尔微电子有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 266100 山东省青岛市崂山区北宅街道投资服务中心308室
变更后权利人 : 266104 山东省青岛市崂山区松岭路396号103室
2020-03-20 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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