多功能压差传感器
专利权的终止未缴年费专利权终止
摘要
一种多功能压差传感器，它包括：半导体芯片，具有与半导体芯片的厚壁部分相结合的结合部分的固定基座，和与固定基座相结合的壳体。半导体芯片具有：压差检测单元，静压检测单元，和温度检测单元。固定基座的结合部分不厚于半导体芯片。固定基座有一个或多个薄壁部分，从平面图看，薄壁部分位于半导体芯片的圆形压力敏感膜内。
基本信息
专利标题 ：
多功能压差传感器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1066124A
申请号 ：
CN92103008.8
公开（公告）日 ：
1992-11-11
申请日 ：
1992-04-22
授权号 ：
CN1033469C
授权日 ：
1996-12-04
发明人 ：
飞田朋之山本芳已长须章青木贤一
申请人 ：
株式会社日立制作所
申请人地址 ：
日本东京
代理机构 ：
上海专利商标事务所
代理人 ：
孙敬国
优先权 ：
CN92103008.8
主分类号 ：
G01L13/06
IPC分类号 ：
G01L13/06
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01L
测量力、应力、转矩、功、机械功率、机械效率或流体压力
G01L13/00
测量两个或更多个流体压力差值的设备或仪表
G01L13/06
应用电或磁的压敏元件的
法律状态
2001-06-20 ：
专利权的终止未缴年费专利权终止
1996-12-04 ：
授权
1992-11-11 ：
公开
1992-09-23 ：
实质审查请求已生效的专利申请
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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