一种真空直线导入装置
授权
摘要
本实用新型专利涉及真空环境中的导入装置，一种真空直线导入装置，其中电机长螺杆第一端固定在隔离盘第一端中心位置，波纹管套装在电机长螺杆外侧，且波纹管第一端密封连接在螺杆固定隔离盘第一端端面，真空法兰盘套装在电机长螺杆外侧，且真空法兰盘第一端端面为电机安装座，贯通式电机的动力端与电机长螺杆配并安装在真空法兰盘第一端端面，真空法兰盘第二端端面迷密封连接在波纹管第二端；贯通式电机可通过与电机长螺杆配合，使贯通式电机在电机长螺杆上轴向移动，并通过真空法兰盘驱动波纹管伸缩。本装置可以在真空环境中实现位置精准的、速度可控的和可重复的直线位移和运动，具有效率高、制作和调试简化并且稳定性好的优点。
基本信息
专利标题 ：
一种真空直线导入装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020007295.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-01-03
授权号 ：
CN211046667U
授权日 ：
2020-07-17
发明人 ：
孙艳朝
申请人 ：
辽宁希泰科技有限公司
申请人地址 ：
辽宁省营口市老边区康意街17号
代理机构 ：
沈阳易通专利事务所
代理人 ：
王建男
优先权 ：
CN202020007295.6
主分类号 ：
H02K7/06
IPC分类号 ：
H02K7/06 H02K37/24
法律状态
2020-07-17 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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