减压真空导入装置
专利权的终止未缴年费专利权终止
摘要
本实用新型提供一种减压真空导入装置，涉及真空技术领域。该装置用波纹管把运动导入工作真空腔室，波纹管的一侧为工作真空腔室，它的另一侧处于粗密封环境，并与一减压装置相接通，工作时形成低真空，使波纹内外壁的压差大幅度减小，从而有利于导入件的运动，动作灵活，响应时间短。该装置可广泛用于执行各种真空环境中的运动。
基本信息
专利标题 ：
减压真空导入装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN90209351.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
1990-06-29
授权号 ：
CN2074023U
授权日 ：
1991-03-27
发明人 ：
钱石南刘万波刘泽文阚娅
申请人 ：
中国科学技术大学
申请人地址 ：
230026安徽省合肥市金寨路96号
代理机构 ：
中国科学技术大学专利事务所
代理人 ：
童建安
优先权 ：
CN90209351.7
主分类号 ：
G03F7/20
IPC分类号 ：
G03F7/20
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/20
曝光及其设备
法律状态
1994-05-18 ：
专利权的终止未缴年费专利权终止
1991-12-11 ：
授权
1991-03-27 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
1、
CN2074023U.PDF
PDF下载
